滑閥式真空泵，它的作用是抽除特定的氣體或含有少部分可凝性蒸汽氣體，現今廣泛地使用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾、真空煉泥、航空航天模擬試驗等新材料、新技術、新工藝的生產與研制中?；y式真空泵工作原理是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，所以稱之為滑閥泵。

滑閥式真空泵的工作原理：

滑閥式真空泵主要由泵體及內部作偏心轉動的滑閥、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等部分組成(見右圖)。
泵體中裝有滑閥環(4)，滑閥環內裝有偏心輪(3)，偏心輪固定在軸(2)上，軸與泵體中心線相重合。
在滑閥環上裝有長方形的滑閥桿(5)，它能在半圓形滑閥導軌(7)中上下滑動及左右擺動，因此泵腔被滑閥環和滑閥桿分隔成a、b兩室。
泵在運轉過程中，由于a、b兩室容積周期性地改變，使被抽氣體不斷進入逐漸增大容積的吸氣腔;同時，在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮，并通過排氣閥排出泵外。