1：轉子與泵體、側蓋，轉子與轉子間均有間隙，互不接觸，因此：A.泵腔各運動零件互想之間沒有摩擦，因此功率消耗小，運轉維護費用低，節能效果顯著。B.泵腔內各運動零件互相之間不需要油潤滑與密封，避免了油蒸汽返流對真空系統造成污染。C.羅茨真空泵對被抽氣體中所含的少量粉塵不敏感。

2：轉子具有良好的幾何對稱性，運轉平穩，振動小、噪音低，直聯傳動轉速高，體積小，重量輕。

3：羅茨真空泵的泵腔內不發生象其它機械真空泵那樣具有內部壓縮現象，因此其不需要排氣閥，所以當它的前級泵采用水環真空泵時，可以抽除含有大量水蒸汽的氣體。

4：起動快，能在短時間內達到極限真空，抽氣效率較高

5：泵在很寬的壓力范圍內（1.3X10³~1.3帕），有較高的抽氣效率，能訊速排出突然放出的氣體，彌補了擴散泵和油封機械泵在1.3X10³~1.3帕時抽氣效率低的缺陷。

6、工作可靠，耐用：泵腔內各摩擦副均有良好的潤滑，軸承與泵腔隔開，泵軸在軸封處裝有軸套，因此主軸不會磨損，軸套磨損后可以調頭繼續使用。采用立式結構，皮帶張力與泵皮帶輪重力相抵消，軸承負荷較小，壽命較長。各主要件設計合理，大油箱結構，利于油氣分離與冷卻，并具儲油量多，對油內所含的雜物有較好的自分離較果，根據工況，還可以配置帶濾網堵塞旁路自動接通過濾器，以及油路油流通顯示裝置，因此泵可長時間的工作使用壽命較長，能在較惡劣的工況下工作.

7、體積小，重量輕：設計轉速適中，結構緊湊合理，泵腔內外部的利用率達最高，外形簡潔體積小