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當羅茨真空泵工作時，泵腔內的一對轉子按圖示有箭頭方向同步旋轉，兩轉子 與泵體、兩側蓋所組成的進氣腔隨著轉子的旋轉不斷增大，將氣體從泵的進氣口吸入（如圖A、B所示）;隨著轉子的進一步旋轉，吸入的氣體被關入封閉 的V0空間內（如圖C上陰影部分所示），再隨著轉子的旋轉，V0空間內 的氣體被轉移到與排氣腔接通，由于此時V0空間內的壓力較排氣腔要低，氣體就從排氣口返擴散到V0處，但轉子進一步旋轉時排氣腔不斷縮小，所以又將氣腔內 的較返流更多的氣體從排氣口排出，就這樣形成了羅茨真空泵的不斷吸氣與排氣 三葉羅茨真空泵的機械工作原理與兩葉的基本相同，區別在于三葉的把轉子分成三葉 羅茨真空泵的分子作用原理羅茨真空泵在入口壓力很低情況下工作的。由于轉子轉速很高（各型號配的電機不同轉不也不同但都很高），轉子表面的線速度近于分子的熱運動速度，這時碰撞在轉子上的氣體分子被轉子攜帶到壓力較高的排氣側，再被前級預真空泵排除。 羅茨真空泵在兩種原理聯合作用下，促使期在（1.3X10³~1.3帕）區間內具有抽速大和抽速曲線平穩的特點。 |
